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数字时报:台积电7nm+ EUV已开始量产 行业首次量产EUV极紫外光刻技术

2019-05-26 12:39:17  来源:IT之家    

  据《数字时报》报道,台积电首席执行官表示,该公司7nm+ EUV已开始批量生产。这是台积电第一次、也是行业第一次量产EUV极紫外光刻技术。

  今年2月,《数字时报》曾报道称,7nm批量生产将在3月底开始,目前来看,它已经被推迟了至少两个月。此前台积电并没有提到第一个7nm+ EUV产品是什么,但有消息说,华为的麒麟985也是基于7nm+ EUV的。相比一代7nm工艺,7nm+ EUV提升20%的晶体管密度,性能提升10%以上,功耗比第一代7nm低15%。

  据悉台积电今年还将推出第二代7nm制程,明年将开始风险生产6nm制程。

  台积电还表示,今年其7nm产能将比去年增长150%,而5nm的大规模生产将于2020年第一季度启动。位于台湾南部科技园的新工厂Fab 18已经开始设备搬迁与安装,将在明年投产时直接上马5nm,并为未来的3nm工艺做好准备。

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